スプレー現像装置

  • ドライフィルムなどの厚膜レジストを露光後に、現像するための装置です。
  • 固定された基板の上側から、ノズルを往復運動させながら現像液を噴射します。
  • 本装置は2015年度卒業研究テーマで開発したものです。
  • ドライフィルム現像中の動画はこちら ⇒ filedeveloper.mp4

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Last-modified: 2017-05-05 (金) 12:28:49 (2093d)