メニュー
日本語
英語
ホーム
研究室ニュース
研究室紹介
メンバー
研究テーマ
研究成果
アクセス
リンク
講義情報
Download
研究室Twitter
理工学部機械学系 360°VR動画
yagmasalab
アクセスカウンタ
総計: 261016
今日: 5
昨日: 82
現在: 1
ドライエッチング装置(RIE)
†
並行平板型の反応性イオンドライエッチング装置(RIE: Reactive Ion Etching)です.
薬液に浸けて加工を行うウェットエッチングに対して,プラズマを利用したガスによって加工する方法はドライエッチングと呼びばれています.
ドライエッチング装置は半導体,MEMSの微細加工技術として必須の技術となっています.
→
保有設備
へ戻る
Last-modified: 2017-05-09 (火) 19:11:40 (2544d)
Link:
保有設備
(268d)
eng_保有設備
(451d)