マイクロブラスト加工装置 †

• ブラスト加工装置は直径20〜100μmの投射材をノズルから高圧噴射することで、ガラス基板やシリコン基板などの脆性材料を高速で加工することが可能な装置です。
• マイクロブラスト加工ではフォトリソグラフィ加工により基板上に耐摩耗性の優れたマスクパターンを作成し、マスクの上からノズルをスキャンしながらブラスト加工することでマスク開口部に高アスペクト比（加工深さ/加工幅）加工が可能です。
  
  
  
  
  
  
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