触針式表面粗さ計

  • 触針を表面に接触させて表面粗さを測定する装置です。
  • レジスト厚さ測定、加工溝の深さなどの測定が可能です。
  • 測定データのリアルタイム表示、評価曲線の1画面表示、解析グラフの読みとりなどが可能です。
  • 試料の表面に触針を接触させながら、移動させることにより、表面形状の高さに応じて触針の高さが変位します。
  • 触針の高さは検出器により計測されるため、試料の表面粗さや段差が測定できます。
  • 測定した高さ(Z軸)と位置(X軸)からなる波形データを解析することにより、平均表面粗さなどが解析できます。
  • 測定範囲100mm(X軸方向)、800µm(Z軸方向)
  • 測定レンジ 8〜800µm、分解能 0.1〜10nm

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Last-modified: 2022-05-07 (土) 15:55:30 (265d)