真空蒸着装置

  • 真空にした容器(チャンバ)の中で物質を加熱することにより気化させ、近傍に置いた基板上に堆積させて薄膜します
  • 抵抗加熱方式により物質の加熱します真空系はロータリポンプ,ディフュージョンポンプで構成されています
  • 金属,高分子の薄膜作製,カーボン支持膜,反射膜作製(アルミなど)が可能です


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Last-modified: 2019-04-12 (金) 14:06:48 (1386d)