真空蒸着装置 †

  • 真空にした容器（チャンバ）の中で物質を加熱することにより気化させ、近傍に置いた基板上に堆積させて薄膜します
  • 抵抗加熱方式により物質の加熱します真空系はロータリポンプ，ディフュージョンポンプで構成されています
  • 金属，高分子の薄膜作製，カーボン支持膜，反射膜作製（アルミなど）が可能です


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Last-modified: 2019-04-12 (金) 14:06:48 (1386d)