真空蒸着装置

  • 真空にした容器(チャンバ)の中で物質を加熱することにより気化させ、近傍に置いた基板上に堆積させて薄膜します
  • 抵抗加熱方式により物質の加熱します真空系はロータリポンプ,ディフュージョンポンプで構成されています
  • 金属,高分子の薄膜作製,カーボン支持膜,反射膜作製(アルミなど)が可能です


    pvd.jpg
    pvd.png
    pvd2.jpg


保有設備へ戻る


トップ   編集 凍結解除 差分 バックアップ 添付 複製 名前変更 リロード   新規 一覧 単語検索 最終更新   ヘルプ   最終更新のRSS
Last-modified: 2019-04-12 (金) 14:06:48 (2283d)