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Welcome to Yagyu Lab. Homepage
材料加工プロセス研究室では，機械と化学，バイオの融合領域の研究を行っています。高機能でコンパクトな化学分析装置や医療用デバイスを実現可能な技術であるMEMS（メムス：微小電気機械システム）では高分子材料やシリコン基板に対し微細な加工が施されます。加工プロセスではナノ･マイクロ空間の材料特性が重要になるため，コンピュータを用いた材料･加工プロセスの分子レベルのシミュレーションやナノサイズの材料を利用した新しい材料･加工プロセスの実験研究を行っています。
実験研究では，各種微細加工技術を駆使して設計したマイクロ流体デバイスを作製し，作製したデバイスを用いて金属ナノ粒子などのナノ材料を化学合成しています。また，合成したナノ材料のイムノクロマトなどの免疫検査や自動車排ガスの清浄化する触媒への応用も検討しています。
コンピュータを用いた材料･加工シミュレーションでは，計算規模に応じて学外のスーパーコンピュータを利用しながら高分子レジスト材料，ゴム材料の物性予測やレーザー加工，砥粒加工などの材料･加工プロセスのシミュレーションを実施しています。
さらに，シミュレーションの結果から得られた情報や材料の熱，光学物性を利用した新しいナノ材料の生成･加工プロセスの開発を目指しています。特にMEMSにおけるレジスト材料などの高分子材料のメソ領域の材料特性に注目し，その特性のマイクロシステムへの応用を目指しています。
MEMSはシリコン基板，ガラス基板，有機材料などに機械要素部品であるセンサ，アクチュエータ，電子回路など集積したミクロンレベル構造を持つデバイスです。この技術では，高分子材料やシリコン基板に対し半導体微細加工技術により微細な溝や穴の加工や金属，有機材料の成膜が施されます。MEMS技術は，プリンターヘッド，自動車のエアバッグ，携帯電話やゲーム機等で使われる加速度センサ，プロジェクタのミラーデバイス，化学合成や分析装置を小型化したmicroTASなど幅広い分野において必要不可欠なデバイスとして活用されています。
